자동화의 스파르타 분류기를 횡단하는 것은 진정한 차세대 300mm 웨이퍼 처리 솔루션입니다. 그 통일 웨이퍼 관리 시스템은 스파르타 분류기에게 핵심 작업을 수행하는 데 필요한 최소 규모와 복잡도를 제공합니다 -로 깔끔하게하고 신속하게 가능한 웨이퍼를 이동합니다. 가장 낮은 입자 수준 업계 최고의 청결을 제공하면서 스파르타의 분류기는 향상된 안정성 및 최대 효율성을 제공합니다.
설정 및 서비스의 용이성은 스파르타 분류기의 핵심 속성입니다. 스파르타 분류기의 간단하고 확장 가능한 아키텍처는 장비와 쉽게 서비스 및 유지 보수와 신속한 통합을 제공합니다. SEMI 표준과 완벽하게 호환, 스파르타 분류기 다양한 정렬 애플 리케이션을 지원하기 위해 여러 가지 옵션에서 사용할 수 있습니다.
최대 생산성 및 수익성
- ISO 클래스 1의 성능보다 동급 최고의 청결을위한 미니 환경 최적화 기능.
- 듀얼, 울트라 - 얇은 에지 - 그립 웨이퍼 처리 빠르고 가장 까다로운 어플 리케이션을위한 스왑 시간 성능을 달성
- 직선 모션 웨이퍼 엔진은 간단,보다 안정적이고 쉽게 설치 및 문제 해결을 제공합니다
- 유연한 구성 디자인 및 고급 소프트웨어 지원주기 시간을 단축하고 쉽게 통합, 서비스 및 유지 보수를 수 있습니다.