輸送システムの真空ファミリーのメンバーは、AVR - 2000は、超クリーン、高真空の処理環境での高精度、および信頼性の高い輸送を提供します。特別な運動と腕、ゼロバックラッシュ、およびリンクに適用される過度の外力、に対するロバスト性の設計を保証するモーションを高速で伝送する運動。オーバーラップの速度プロファイルを持つマルチセグメントの軌道上の高度なモーションの調整が円滑かつ効果的な物質移動を保証します。 AVR - 2000は、0.5"垂直移動があり、ロボットがウェハ、フォトマスクの広い配列を輸送できるよう、様々なエンドエフェクタのオプションが利用可能である、FPDは、拡張された放射状の範囲以上です。
特徴：
- 互換性のある超高真空（10E - 10トルまで）
- クラス1のクリーンルーム未満の互換性
- 速い、振動フリー材料の輸送のためのDSPベースのモーションコントロール