Kensington Laboratories 300mm dual arm atmosfæriske waferbehandling robot lever op til branchens mest strenge 300mm præstationsstandarder. Det multilink dobbelte arm robot opnår ekstremt høje gennemløb i en lille fodaftryk, hvilket giver en betydelig ejeromkostninger fordel. Kensington Laboratories, der er førende inden for avanceret robotteknologi teknologi, er forpligtet til at udvikle og producere den højeste kvalitet og mest omkostningseffektive atmosfæriske robotter i branchen - alle understøttet af Kensington Laboratories 'globale service og support netværk.
High Throughput: Kensington proprietære vakuum counter-balancering systemet eliminerer robot konverteringstid i Z-aksen. Dette i kombination med en hurtig swap på mindre end 3 sekunder, øges betydeligt gennemløb. I fire pod-systemer, er større end 360 skiver i timen gennemløb opnået.
Lav Co0: En minimal slagvolumen på mindre end 21 inches giver den dobbelte arm robotten til at give waferbehandling operationer inden for et meget kompakt design, hvilket reducerer det samlede system footprint
Nøjagtig Wafer Placering: High performance design giver præcis bevægelseskontrol og eliminerer strukturelle deformation og krybe. Alle robot akser er styret af forudindlæst lejer monteret på monolitiske rammer bearbejdet fra enkelte blokke af meget stabile fly-kvalitets aluminium.
Høj pålidelighed: multilink robotten opnår ekstraordinær MCBF på 10 millioner cyklusser ved at ansætte direkte-drev DC servomotorer med real-time force feedback og ikke-kontakt glas skala encodere, der overvåger faktiske drev toget output.
Automatiseret Self Teach: Det patenterede Automated Self Teach funktion reducerer tid, der kræves til at bringe systemer online og giver hurtigere tid til produktion rampe.
Zero Forebyggende Vedligeholdelse: Superior præcision design kræver ingen regelmæssig smøring eller justeringer øge systemets tilgængelighed for produktionen.