La fase nanopositioning del 6-Axis del pi offre il moto in sei gradi di libertà con precisione estrema. È utilizzata per nano-fabbricazione e prova ed ispezione dei trattamenti a semiconduttore. Il Suo semi conduttore, progettazione guida flessione ha vantaggi sopra i sistemi di posizionamento convenzionali. La fase nanopositioning è basata su una progettazione parallelo-cinematica, dove tutti gli azionatori guidano il pezzo in lavorazione parallelamente ed i videi della parallelo-metrologia di sistema di feedback la piattaforma mobile da tutti gli angoli, un regolatore piezo-elettrico digitale specializzato permette di raggiungere il moto coordinato altamente preciso in tutti e sei i gradi di libertà, con rettitudine & planarità nell'intervallo basso di nanometro.
Funzionalità Salienti
Le funzionalità salienti della Precisione di Nano-Robotica di Sei-Asse che Posiziona la Fase sono:
- Sei posizionatori di precisione di asse: xyz, teta z, teta y, teta z
- Cinematica parallela del Romanzo e progettazione parallela di metrologia per la risposta & la precisione migliorate
- Metrologia diretta Capacitiva per le più alte linearità e stabilità
- Sistema guidante di flessione Frictionless e senza contraccolpo
- Scansione-planarità Eccellente
- Azionatori a più strati piezo-elettrici incapsulati ceramici di Lunga vita
- Opzione di Vuoto di UHV al hPa-9 10