Ito mataas na pagganap atomospheric glass substrate paglilipat ng double na robot ng braso ay binuo para sa FPD transfer glass substrate.
Tampok:
- Ipinatupad 1260mm max paglilipat ang layo, na nalalapat sa FPD glass substrate.
- S-curve pagpabibilis / pagbabawas ng bilis ng mga controllers ay nagtatrabaho upang matiyak ang makinis na paghawak sa mataas na bilis.
- Ang dalawahan configuration braso nababawasan ng halaga ng oras na kinakailangan upang palitan ang mga substrates sa isang yugto ng proseso.
- Kumpleto sealing sa mga joints ng robot braso pushes malinis na pagganap ng higit sa detecting kakayahan ng mga counter tipik magagamit sa sa kasalukuyang bilang market.The ng mga particle (0.1 micron o higit pa sa diameter) ay mabibilang bilang mga zero sa loob ng 650 millimeters (lahat ng direksyon) ng substrate.
- Salamat sa mataas na resolution at mababang panginginig ng boses, ang substrate ng isang ilipat ligtas, na may kaunting sliding at henerasyon ng tinga.
- Upang matiyak na ang substrate ay ligtas vaccuum chucked, isang tubo at apat na wires (para sa dalawang magkahiwalay na sensing system) ay maayos housed sa seksyon ng braso.
- Hindi glass substrate contact pagkakahanay mekanismo para paikutin at pabalik-balik direksyon ng pagtatapos effector ay naka-install sa dulo effector.