這種高性能的atomospheric玻璃基板轉移雙臂機器人開發 FPD玻璃基板轉移。
特點:
- 實施1260毫米最大傳輸距離,適用於 FPD玻璃基板。
- S曲線加速/減速控制器已被聘用,以確保在高速的順利處理。
- 雙手臂配置跌幅交流基板上道工序所需的時間量。
- 在機器人手臂關節的全密封推動清潔性能超出了當前 market.The數量粒子(直徑在0.1微米或以上),在650毫米的基板(四面八方)為零的粒子計數器的探測能力。
- 高分辨率和低振動,可安全轉移基材,以最小的滑動和顆粒物的產生。
- 為了確保基板安全vaccuum打發,單管和四線(兩個獨立的傳感系統)整齊地安置在手臂部分。
- 末端效應器上安裝非接觸式玻璃基板對齊機制為旋轉和來回方向的末端效應。